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          SR100 薄膜分析儀

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          規格參數
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          應用系統
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          簡介


            SR系列薄膜分析產品來自美國AST公司,其可以實現薄膜厚度、反射率、透射率、色度等的測量,同樣對于材料NK參數也可以實現測量,為人們針對薄膜進行分析提供了極大便利。

           

            產品詳情:

          基本功能

          1,測試單、多層透光薄膜的厚度、折射率以及吸收系數
          2,實現薄膜均勻性檢測
          3,實現反射、投射以及顏色測量

          產品特點

            強大的數據運算處理功能及材料NK數據庫;
            簡便、易行的可視化測試界面,可根據用戶需求設置不同的參數;
            快捷、準確、穩定的參數測試;
            支持多功能配件集成以及定制;
            支持不同水平的用戶控制模式;
            支持多功能模擬計算等等。

          系統配置

            型號:SR100R
            探測器: 2048像素的CCD線陣列
            光源:高穩定性、長壽命的鹵素燈
            光傳送方式:光纖
            臺架平臺:特殊處理鋁合金,能夠很容易的調節樣品重量,200mmx200mm的大小
            軟件: TFProbe 2.2版本的軟件
            通訊接口:USB的通訊接口與計算機相連
            測量類型:薄膜厚度,反射光譜,折射率
            電腦硬件要求:P3以上、最低50 MB的空間
            電源:110–240V AC/50-60Hz,1.5A
            保修:一年的整機及零備件保修

           

          規格尺寸


            波長范圍:250nm到1100 nm
            光斑尺寸:500μm至5mm
            樣品尺寸:200mmx200mm或直徑為200mm
            基板尺寸:最多可至50毫米厚
            測量厚度范圍*:2nm~50μm
            測量時間:最快2毫秒
            精確度*:優于0.5%(通過使用相同的光學常數,讓橢偏儀的結果與熱氧化物樣品相比較)
            重復性誤差*:小于1 ?

          可選配件項

            用于傳遞和吸收測量的傳動夾具(SR100RT) )
            最低可測量直徑為5μm大小的微光斑(MSP100)
            在多個位置下,多個通道用于同時測量 (SR100xX)
            在超過200或300毫米晶片上所進行的統一測繪(SRM100-200/300)

           

          應用系統


            主要應用于透光薄膜分析類領域:

            1 玻璃鍍膜領域(LowE、太陽能…)

            2 半導體制造(PR,Oxide, Nitride…)

            3 液晶顯示(ITO,PR,Cell gap...)

            4 醫學,生物薄膜及材料領域等

            5 油墨,礦物學,顏料,調色劑等

            6 醫藥,中間設備

            7 光學涂層,TiO2, SiO2, Ta2O5... ..

            8 半導體化合物

            9 在MEMS/MOEMS系統上的功能性薄膜

            10 非晶體,納米材料和結晶硅

          未找到相應參數組,請于后臺屬性模板中添加

            圖片:

            

            簡介:

            SR系列薄膜分析產品來自美國AST公司,其可以實現薄膜厚度、反射率、透射率、色度等的測量,同樣對于材料NK參數也可以實現測量,為人們針對薄膜進行分析提供了極大便利。

           

            產品詳情:

          基本功能

          1,測試單、多層透光薄膜的厚度、折射率以及吸收系數
          2,實現薄膜均勻性檢測
          3,實現反射、投射以及顏色測量

          產品特點

            強大的數據運算處理功能及材料NK數據庫;
            簡便、易行的可視化測試界面,可根據用戶需求設置不同的參數;
            快捷、準確、穩定的參數測試;
            支持多功能配件集成以及定制;
            支持不同水平的用戶控制模式;
            支持多功能模擬計算等等。

          系統配置

            型號:SR100R
            探測器: 2048像素的CCD線陣列
            光源:高穩定性、長壽命的鹵素燈
            光傳送方式:光纖
            臺架平臺:特殊處理鋁合金,能夠很容易的調節樣品重量,200mmx200mm的大小
            軟件: TFProbe 2.2版本的軟件
            通訊接口:USB的通訊接口與計算機相連
            測量類型:薄膜厚度,反射光譜,折射率
            電腦硬件要求:P3以上、最低50 MB的空間
            電源:110–240V AC/50-60Hz,1.5A
            保修:一年的整機及零備件保修

           

            規格參數:

            波長范圍:250nm到1100 nm
            光斑尺寸:500μm至5mm
            樣品尺寸:200mmx200mm或直徑為200mm
            基板尺寸:最多可至50毫米厚
            測量厚度范圍*:2nm~50μm
            測量時間:最快2毫秒
            精確度*:優于0.5%(通過使用相同的光學常數,讓橢偏儀的結果與熱氧化物樣品相比較)
            重復性誤差*:小于1 ?

          可選配件項

            用于傳遞和吸收測量的傳動夾具(SR100RT) )
            最低可測量直徑為5μm大小的微光斑(MSP100)
            在多個位置下,多個通道用于同時測量 (SR100xX)
            在超過200或300毫米晶片上所進行的統一測繪(SRM100-200/300)

           

            應用系統:

            主要應用于透光薄膜分析類領域:

            1 玻璃鍍膜領域(LowE、太陽能…)

            2 半導體制造(PR,Oxide, Nitride…)

            3 液晶顯示(ITO,PR,Cell gap...)

            4 醫學,生物薄膜及材料領域等

            5 油墨,礦物學,顏料,調色劑等

            6 醫藥,中間設備

            7 光學涂層,TiO2, SiO2, Ta2O5... ..

            8 半導體化合物

            9 在MEMS/MOEMS系統上的功能性薄膜

            10 非晶體,納米材料和結晶硅

          暫未實現,敬請期待
          暫未實現,敬請期待

          產品中心

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